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發布時間:2020-07-22 17:32  
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點可蒸發任何材料薄膜純度高直接作用于材料表面,熱
缺點電子槍結構復雜,造價高化合物沉積時易分解,化學比失調
3激光蒸發鍍膜
采用高能激光束對材料進行蒸發,用以形成薄膜的方法,一般稱為激光蒸鍍。
優點薄膜純度高蒸發速率高特別適合蒸發成分復雜的合金或化合物,膜層的化學計量比與靶材保持一致
缺點
易產生微小顆粒飛濺,影響薄膜質量

氮化鉻涂層 (CrN)
CrN涂層具有良好的抗粘結性,抗腐蝕性,耐磨性。
用途:加工鋁合金,紅銅的刀具,注塑模具,零件(特別是有潤滑油浸泡)
5)DLC
DLC涂層的組成為TIN TICN DLC結構。具有摩擦系數較低,
耐磨損,膜層應力小好等優點
用途:潤滑涂層,成型模具,鋁合金等粘結性強材料沖壓模具。
6)ZrN
ZrN不含Ti和Cr的單成膜,有較高的耐熱性,涂層顏色艷麗,在加工鋁鈦合金時可有效減少切削瘤

基片置于合適的位置是獲得均勻薄膜的前提條件.
b、壓強的大小. 為了保證膜層質量,壓強應盡可能低Pr≦(Pa)
L表示蒸發源到基片的距離為L(cm)。
c、蒸發速率.蒸發速率小時,沉積的膜料原子(或分子)上立刻吸附氣體分子,因而形成的膜層結構疏松,顆粒粗大,缺陷多;反之,膜層結構均勻致密,機械強度高,膜層內應力大.
d、基片的溫度.在通常情況下,基片溫度高時,吸附原子的動能隨之增大,形成的薄膜容易結晶化,并使晶格缺陷減少;基片溫度低時,則沒有足夠大的能量供給吸附原子,因而容易形成無定形態薄膜.