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發布時間:2021-01-12 15:53  
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氣體管路控制系統作用
主要由氣源切換系統、管道系統、調壓系統、用氣點、監控及報警系統組成。對于一些易1燃易1爆氣體,如氫氣等,可能在設計和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。
閥門是在流體系統中,用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統中控制部件,用來改變通路斷面和介質流動
方向,具有導流、截止、節流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
氣體管路控制系統可以用于管理控制氣體供應,包括流量,壓力,開關等,同時帶有泄漏報警1燈功能,能夠有效保護用氣安全。
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大宗特氣供氣系統介紹
大宗特氣供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒,應永遠使杜瓦罐保持直立狀態。它們的投資規模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。
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小流量氣體凈化系統
高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害。
氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。
氣體配比儀采用質量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
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