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發布時間:2020-12-17 08:29  
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好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中,FFU循環系統運行成本很低,潔凈度安全性很高,因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高,因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。嚴格潔凈車間的管理,控制人員數量,避免不必要的移動,人員應穿潔凈服。

車間凈化在運行中消耗的能量主要包括:新風熱濕處理消耗的能量、系統風機運行消耗的能量,潔凈室運行的功率負荷是一般空調的3-30倍。3、制定清潔管理制度,定期的清潔潔凈車間,定期維護潔凈空調系統,避免積塵。為了凈化空調系統的節能,我們應該從系統運行過程中消耗大量能源的項目入手。改變車間溫濕度凈化要求;減少排風量;適當降低靜壓;采用低阻空氣過濾器;非工作時間,使用值班風機運行,系統中的進、回風機關閉。盡量減少因風扇及電機溫升而導致的空氣處理所消耗的能源;為減少空調系統和空調的漏風,采取相應的有效措施和方法,達到節能運行的目的。

7、溫濕度要求:十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
8、配電:潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
1、耐火等級和防火分區
從許多潔凈室火災實例中我們不難發現,嚴格控制建筑物的耐火等級十分必要,設計時將廠房的耐火等級定為一、二級,使其建筑構件的耐火性能與甲、乙類生產廠房相適應,從而大大減少了火災發生的可能性。
限制防火墻間的面積,設置防火分區,一是可以控制火災蔓延,減少火災損失;二是便于火場撲救,使消防人員既容易在現場尋找火源,也容易安全撤離。
