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發(fā)布時(shí)間:2021-09-12 19:26  
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市場(chǎng)規(guī)模
中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長(zhǎng),全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),2016年中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模為1659.0億美元,增速達(dá)9.2%,大于全球增長(zhǎng)速度(1.1%)。首先光刻膠被從容器中取出滴布到置于涂膠機(jī)中的樣品表面,(由真空負(fù)壓將樣品固定在樣品臺(tái)上),樣品然后高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速由膠粘度和希望膠厚度確定。2016年中國(guó)半導(dǎo)體制造用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場(chǎng)規(guī)模為20.24億元。預(yù)計(jì)2017和2018年半導(dǎo)體制造用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將分別達(dá)到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場(chǎng)規(guī)模將分別達(dá)到22.64億元和29.36億元。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場(chǎng)主流半導(dǎo)體應(yīng)用廣泛,需求增長(zhǎng)持續(xù)性強(qiáng)。近些年來(lái),全球半導(dǎo)體廠商在中國(guó)大陸投設(shè)多家工廠,如臺(tái)積電南京廠、聯(lián)電廈門(mén)廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導(dǎo)體工廠的設(shè)立,也拉動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)需求增長(zhǎng)。
光刻膠的重要性
在北京化工大學(xué)理學(xué)院院長(zhǎng)聶俊眼里,我國(guó)雖然已成為世界半導(dǎo)體生產(chǎn)大國(guó),但面板產(chǎn)業(yè)整體產(chǎn)業(yè)鏈仍較為落后。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長(zhǎng)由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。目前,上游電子化學(xué)品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口,必須加快面板產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心材料基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,才能支撐我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)未來(lái)發(fā)展及國(guó)際“地位”的確立。
“假如我們把光刻機(jī)比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒(méi)有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無(wú)法做出一道佳肴。”日前,江蘇博硯電子科技有限公司技術(shù)部章宇軒在接受科技日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)說(shuō)。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術(shù)資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長(zhǎng)為365 或者436納米,可用于晶圓步進(jìn)器、掃描投影對(duì)準(zhǔn)器、近程打印機(jī)和接觸式打印機(jī)等工具。PR1-2000A1可以滿(mǎn)足對(duì)附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時(shí)一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對(duì)于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢(shì):
PEB,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強(qiáng)的線寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長(zhǎng)達(dá)2年。
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