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真空腔體產(chǎn)品特點

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)真空腔體供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

1.真空環(huán)境使用，高低溫真空環(huán)境使用；采用不銹鋼，鋁，陶瓷等出氣率低的材料制作；

2.標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，可根據(jù)客人要求定制不同形狀與使用環(huán)境腔體；

3.氦氣檢漏，保壓老化，達(dá)到客戶的要求。

應(yīng)用范圍：軍類單位，大專院校，科研院所，航空航天，生物制藥，微電子，新能源，新材料等等。

真空腔體——焊接工藝介紹

目前，超高真空容器普遍采用不銹鋼。真空腔體應(yīng)該講，不銹鋼的可焊性和焊接工藝性是良好的，為什么要提出超高真空容器對焊縫的要求呢?其原因是超高真空容器要求泄漏率很低，也帶來對焊縫密封性的苛刻要求，微小的泄漏難檢、難補(bǔ)、難消除。實踐證明，非超高真空容器通常采用壓力檢漏法不能滿足超高真空容器漏率的要求，亦即在壓力檢漏檢不出漏點的情況下，采用氦質(zhì)譜檢漏，仍可能發(fā)現(xiàn)漏孔，達(dá)不到漏率要求。因此對超高真空容器來講，須采用高靈敏度的氦質(zhì)譜進(jìn)行檢漏。

為保證焊縫滿足超高真空容器漏率的要求，針對不銹鋼，焊接工藝上主要應(yīng)解決兩個問題，

一是防止熱裂紋的產(chǎn)生，其產(chǎn)生機(jī)理是在焊縫一次結(jié)晶中，低熔點共晶物聚積在焊縫中心線處，在熱應(yīng)力的作用下形成。同時真空腔體應(yīng)防止碳化物形成，造成脆硬組織裂紋。

二是盡可能減少焊接缺陷的產(chǎn)生。

真空腔體概述

真空設(shè)備包含很多組件，如真空腔體，真空密封傳導(dǎo)件，視口設(shè)置，真空傳感器，真空顯示表，沉積系統(tǒng)，蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料，濺鍍靶材，等離子刻蝕設(shè)備，離子注入設(shè)備，真空爐，真空泵，法蘭，閥門和管件等。真空設(shè)備常用于脫氣，焊接，制備薄膜涂層，生產(chǎn)半導(dǎo)體/晶圓、光學(xué)器件以及特殊材料等。

基板指的是一個大的法蘭適配器，可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置，可連接到真空抽氣系統(tǒng)。

脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu)，一般帶有鉸鏈接口，可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置，如塑料樣品、血液、粘合劑、化學(xué)制品或其他液體的除氣設(shè)備。

輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。

基地井整合了基板和真空密封頸，用焊接接頭取代一個真空密封件，可以同時實現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個部件的功能。