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              安徽光刻膠供應商廠家直供「賽米萊德」

              發布時間:2021-10-15 06:01  

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              光刻膠的相關內容

              光刻膠必須滿足幾個硬性指標要求:高靈敏度,高對比度,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長壽命周期,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉換溫度(Tg)。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。

              感光膠的主要成分是樹脂或基體材料、感光化合物以及可控制光刻膠機械性能并使其保持液體狀態的溶劑。樹脂在曝光過程中改變分子結構。感光化合物控制樹脂定相的化學反應速度。溶劑使得膠能在圓片上旋轉擦敷并形成薄瞙。沒有感光化合物的光刻膠稱為單成分膠或單成分系統,有一種感光劑的情形下,稱為二成分系統。因為溶劑和其他添加物不與膠的感光反應發生直接關系,它們不計入膠的成分。

              在曝光過程中,正性膠通過感光化學反應,切斷樹脂聚合體主鏈和從鏈之間的聯系,達到削弱聚合體的目的,所以曝光后的光刻膠在隨后顯影處理中溶解度升高。曝光后的光刻膠溶解速度幾乎是未曝光的光刻膠溶解速度的10倍。而負性膠,在感光反應過程中主鏈的隨機十字鏈接更為緊密,并且從鏈下墜物增長,所以聚合體的溶解度降低。見正性膠在曝光區間顯影,負性膠則相反。負性膠由于曝光區間得到保留,漫射形成的輪廓使顯影后的圖像為上寬下窄的圖像,而正性膠相反,為下寬上窄的圖像。

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              微流控芯片硅片模具加工如何擇光刻膠呢?

              賽米萊德專業生產、銷售光刻膠,我們為您分析該產品的以下信息。

              一般來說線寬的用正膠,線窄的用負膠,正性光刻膠比負性的精度要高,負膠顯影后圖形有漲縮,負性膠限制在2~3μm.,而正性膠的分辨力優于0.5μm 導致影響精度,正性膠則無這方面的影響。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負性膠的分辨率,但是薄負性膠會影響。同種厚度的正負膠,在對于抗濕法和腐蝕性方面負膠更勝一籌,正膠難以企及。



              光刻膠的作用

              光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能

              管感光材料,在光的照射與溶解度發生變化。

              光刻膠成份

              光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和

              正性光刻膠。

              1、負性光刻膠

              主要有聚酸系(聚酯膠)和環化橡膠系兩大類

              2、正性光刻膠

              主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

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