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              發(fā)布時(shí)間:2021-10-25 03:22  

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              NR9-3000PY

              四、對(duì)準(zhǔn)(Alignment)

              光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是曝光前的一個(gè)重要步驟作為光刻的三大核心技術(shù)之一,一般要求對(duì)準(zhǔn)精度為細(xì)線寬尺寸的 1/7---1/10。隨著光刻分辨力的提高 ,對(duì)準(zhǔn)精度要求也越來越高 ,例如針對(duì) 45am線寬尺寸 ,對(duì)準(zhǔn)精度要求在5am 左右。

              受光刻分辨力提高的推動(dòng) ,對(duì)準(zhǔn)技術(shù)也經(jīng)歷 迅速而多樣的發(fā)展 。彩色薄膜少了光刻膠,產(chǎn)生不了絢麗的畫面顯示器是人與機(jī)器溝通的重要界面。從對(duì)準(zhǔn)原理上及標(biāo)記結(jié) 構(gòu)分類 ,對(duì)準(zhǔn)技術(shù)從早期的投影光刻中的幾何成像對(duì)準(zhǔn)方式 ,包括視頻圖像對(duì)準(zhǔn)、雙目顯微鏡對(duì)準(zhǔn)等,一直到后來的波帶片對(duì)準(zhǔn)方式 、干涉強(qiáng)度對(duì)準(zhǔn) 、激光外差干涉以及莫爾條紋對(duì)準(zhǔn)方式 。從對(duì)準(zhǔn)信號(hào)上分 ,主要包括標(biāo)記的顯微圖像對(duì)準(zhǔn) 、基于光強(qiáng)信息的對(duì)準(zhǔn)和基于相位信息對(duì)準(zhǔn)。


              NR77-15000P

              9,去膠:濕法去膠,用溶劑、用NONG硫酸。就拿在國際上具有一定競爭實(shí)力的京東方來說,目前已建立17個(gè)面板顯示生產(chǎn)基地,其中,有16個(gè)已經(jīng)投產(chǎn)。負(fù)膠,98%H2SO4 H2O2 =CO CO2 H2O,正膠:BIN酮,干法去膠(ash)氧氣加熱去膠O2 =CO CO2 H2O,等離子去膠Oxygenplasma ashing,高頻電場O2---電離O- O ,  O 活性基與膠反應(yīng)CO2CO H2O, 光刻檢驗(yàn)


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              客戶:從財(cái)富100強(qiáng)到以風(fēng)險(xiǎn)投資為背景的設(shè)備研發(fā)及制造公司

              使命

              目標(biāo)

              提供特殊化學(xué)品和全新工藝來增加客戶的產(chǎn)能

              策略

              提供獨(dú)特的產(chǎn)品來優(yōu)化生產(chǎn)制程,以提高設(shè)備能效

              領(lǐng)的技術(shù)提升生產(chǎn)過程中的整體性價(jià)比

              工藝步驟的減少降低了成本和產(chǎn)生瑕疵的可能

              增加客戶的產(chǎn)能和生產(chǎn)的效率

              工藝減化

              非同尋常的顯微構(gòu)造、金屬及介電層上的圖形轉(zhuǎn)換、光刻、平坦化、摻雜、蝕刻、邦定

              在生產(chǎn)過程中,不含有害溶劑

              支持所有客戶的需要,與客戶共創(chuàng)成功


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