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發布時間:2021-10-24 03:30  
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NR9-3000PYNR21 20000P光刻膠報價
四、前烘(Soft Bake)
完成光刻膠的涂抹之后,需要進行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。
在液態的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。雖然在甩膠之后,液態的光刻膠已經成為固態的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過在較高溫度下進行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發出來(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。同時,這一步驟還可以減輕因高速旋轉形成的薄膜應力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛,提供光刻膠的粘附性、化學抗蝕性,當沒有溶解存在時,線性酚醛樹脂會溶解在顯影液中,感光劑是光敏化合物,最常見的是重氮萘醌(DNQ)。
在前烘過程中,由于溶劑揮發,光刻膠厚度也會減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。
發展
Futurrex在開發產品方面已經有很長的歷史
我們的客戶一直在同我們共同合作,創造出了很多強勢的產品。
在晶體管(transistor) ,封裝,微機電。顯示器,OLEDs,波導(waveguides) ,VCSELS,
成像,電鍍,納米碳管,微流體,芯片倒裝等方面。我們都已經取得一系列的技術突破。
目前Futurrex有數百個技術在美國商標局備案。
Futurrex 產品目錄
正性光刻膠
增強粘附性正性光刻膠
負性光刻膠
增強粘附性負性光刻膠
先進工藝負性光刻膠
用于lift-off工藝的負性光刻膠
非光刻涂層
平坦化,保護、粘接涂層
氧化硅旋涂(spin-on glas)
摻雜層旋涂
輔助化學品
邊膠清洗液
顯影液
去膠液
Futurrex所有光刻產品均無需加增粘劑(HMDS)
光刻膠
按感光樹脂的化學結構,光刻膠可分為光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠和光交聯型光刻膠。在應用中,采用不同單體可以形成正、負圖案,并可在光刻過程中改變材料溶解性、抗蝕性等。
光聚合型光刻膠
烯類,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合。
光分解型光刻膠
疊氮醌類化合物,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性。
光交聯型光刻膠
聚乙烯醇月桂酸酯,在光的作用下,分子中的雙鍵打開,鏈與鏈之間發生交聯,形成一種不溶性的網狀結構從而起到抗蝕作用。
按曝光波長,光刻膠可分為紫外(300~450 nm)光刻膠、深紫外(160~280 nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5 nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X 射線光刻膠等。
按應用領域,光刻膠可分為PCB 光刻膠、LCD 光刻膠、半導體光刻膠等。PCB 光刻膠技術壁壘相對其他兩類較低,而半導體光刻膠代表著光刻膠技術的水平。