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硅化鎂法是用Mg2Si與NH4Cl在液氨中反應生成硅烷。該法由于原料消耗量大，成本高，危險性大，而沒有推廣，現在只有日本Komatsu使用此法。現代硅烷的制備采用歧化法，即以冶金級硅與SiCl4為原料合成硅烷，首先用SiCl4、Si和H2反應生成SiHCl3 ，然后SiHCl3 歧化反應生成SiH2Cl2，后由SiH2Cl2 進行催化歧化反應生成SiH4 ，

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冶金法冶金法制備太陽能級多晶硅（Solar Grade Silicon簡稱SOG—Si），是指以冶金級硅（metallurgicalGrade Silicon簡稱MG-Si）為原料（98.5%~99.5%）。下圖是個人申請分布式光伏發電并網的流程，看起來很復雜，其實還是很簡單的。經過冶金提純制得純度在99.9999%以上用于生產太陽能電池的多晶硅原料的方法。冶金法在為太陽能光伏發電產業服務上，存在成本低、能耗低、產出率高、投資門檻低等優勢，通過發展新一代載能束高真空冶金技術，可使純度達到6N以上，并在若干年內逐步發展成為太陽能級多晶硅的主流制備技術。
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