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              脈沖激光沉積設備報價值得信賴「沈陽鵬程」

              發布時間:2021-10-23 07:28  

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              脈沖激光沉積細節介紹

              很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧氣壓力(>100 Torr)下冷卻是有利的。所有Pioneer 系統設計的工作壓力范圍。從它們的額定初始壓力到大氣壓力。這也有益于納米粒子的生成。

              Pioneer PLD 系統的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。淺的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導致密度均勻性的損失。

              為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵流體,消除油的回流對薄膜質量的影響,所有Pioneer 系統的標準配置都采用無油真空系統。

              我們的研究表明靶和基片的距離是獲得較佳薄膜質量的關鍵參數。Pioneer 系統采用可變的靶和基片的距離,對沉積條件進行較大的控制。

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              脈沖激光沉積選件介紹

              沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業生產、銷售脈沖激光沉積,我們公司堅持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產品求發展,以質量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創輝煌。

              連續組成擴展(CCS )

              常規沉積條件下的組合合成

              組合合成是一種基于脈沖激光沉積的、組合材料合成的新型連續組成擴展(CCS) 方法。PLD-CCS 系統能以連續的方式改變材料,沒有必要使用掩模。可以在每一次循環中,以小于一個單分子層的速率,快速連續沉積每一種組份,其結果是基本等同于共沉積法。該法無需在沉積后進行退火促進內部擴散或結晶,對于生長溫度是關鍵參數的研究或者被沉積的材料或基片不適合高溫退火的情況是有用的。系統使用程序化的成像鏈(OpticalTrain),包括聚焦透鏡、反射鏡臺、動力反射鏡支撐架和智能視窗等,無需頻繁地校準光學組件。


              激光分子束外延(Laser MBE )

              激光MBE 是普遍采用的術語,該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的PLD 與在線工藝監測的反射高能電子衍射(RHEED)的聯合應用,用戶提供了類似于MBE 的薄膜生長的單分子水平控制。

              正確的設計是成功使用RHEED 和PLD 的重要因數

              RHEED 通常在高真空(<10-6 torr)環境下使用。然而,因為在某些特殊情況下,PLD 采用較高的壓力,差動抽氣是必要的,

              維持RHEED 槍的工作壓力,同時保持500 mTorr 的PLD 工藝壓力。同時,設計完整的系統消除磁場對電子束的影響是至關重要的。Neocera 的激光MBE 系統可以為用戶提供在壓力達到500 mTorr 時所需的單分子層控制。

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              脈沖激光沉積的原理

              脈沖激光沉積原理:在真空環境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產生的局域熱量將靶材物質轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。

              脈沖激光沉積技術適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。

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