青島三坐標氣浮導軌-光波超精密產品齊全-直線三坐標氣浮導軌

光波超精密——三坐標氣浮導軌

氣浮導軌相對于普通滾動導軌有著如下的優點：

(1)導軌面間是氣體潤滑，其摩擦系數(約為0.0005左右)，故驅動功率可大大降低；

(2)因系非接觸性摩擦，故導軌磨損，壽命長，能長期保持制造精度，減少了維修工作量；

(3)氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌運動精度；

(4)氣膜厚度幾乎不受速度的影響，即使在極低速時也不會產生爬行，運動平穩；

(5)幾乎不產生熱量，不會發生粘度變化，無需添加冷卻措施。

光波超精密——三坐標氣浮導軌

直線導軌常簡稱為導軌，它的作用是支承并引導運動部件沿給定軌跡和行程作直線往復運動。導軌由兩個相對運動的部件組成，一個部件固定在機架上，稱為定軌，另一個在定軌上移動，稱為動軌。

導軌多用于需要作直線往復運動的執行器。導軌的運動性能在低速時要求平穩、無爬行、定位準確，高速時要求慣量小、無超調或振蕩。導軌的精度、承載能力和壽命對系統的精度、承載能力和壽命有直接影響。

光波超精密技術研究院——三坐標氣浮導軌

在兩個互相運動的平面之間有一個空隙 h (通常是幾個微米到幾十個微米)，被支撐件的下平面上有一個面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過節流器(節流器直徑為 d)進入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當高壓氣體處于一定壓力下時，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進氣腔通過節流器流動時，壓力下降到 P。當氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設計時，系統就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態.但是當外加載 F突然增大時，直線三坐標氣浮導軌，間隙就會立即減小.因為流經間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會大大降低，從而使外加載 F自動增大.

光波超精密氣浮導軌——三坐標氣浮導軌

氣浮導軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結合起來的獨特機制。利用真空復i制使載體臺架在導軌上，消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實現納米級定位。

使用空氣可大大減少運行時的維護情況。不但不需要進行繁重的潤滑要求，而且污染和除氣問題也已經過時。

與納米級精i確度相比，高速操作可同時提高產量和質量，與傳統潤滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質技術，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級的精度，而且具有內在的防撞設計，以zui大程度地減少潛在損壞，青島三坐標氣浮導軌，減少維修停機時間，提高操作效率

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氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。

平面封閉型 重力平衡型 真空預載荷型 圓筒封閉型

(1)平面封閉型：在氣浮方向上設計一對方向相對的兩個氣膜，形成氣膜預加載。適用于高精度、高剛度、大負載的導軌。因為本項目需要高剛度、高精度的技術要求，所以選用平面封閉型

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(2)重力平衡型：結構簡單，花崗巖三坐標氣浮導軌，加工方便，但剛度低，用于負載變動較小的場合；

(3)真空預載荷型：用壓力氣體產生浮力，形成懸浮狀態，用真空發生裝置產生真空以提高剛度，三坐標氣浮導軌報價，由于真空的吸附作用，使得這種止推導軌具有雙向的剛度，配上x、y兩向驅動，可用單層結構，實現二維運動，即開始結構具有閉式特點，提高了工作臺的工藝性能；

（4)圓筒封閉型：該導軌結構簡單，但加工復雜，圓柱形導軌得圓柱度和溜板的間隙由機械加工決定，對加工工藝要求較高。而承載能力較小，剛度差，常用于輕載。

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