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發布時間:2021-10-28 05:21  
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無論監控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發源的不穩定或膜材的不同表現而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對真空室的結構和蒸發源的恰當選擇可以使這些影響較小。
Parylene是美國Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料,由獨特的真空氣相沉積工藝制備,能涂敷到各種形狀的表面,號稱“無孔不入”,被業內稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene可分為N型、C型、D型、F型、HT型等多種類型
現在,系統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行光學鍍膜的生產也已經轉變成為純技術問題。
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。真空鍍膜機對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,蒸發或濺射出的成膜材料是在一般磁控濺射條件下與待鍍工件形成膜的過程。無論是金屬、合金、化合物、陶瓷還是有機物,都可以氣相沉積各種金屬膜和介質膜,不同的材料可以同時氣相沉積得到多層膜。
隨著科技和經濟的提升,各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設備在不斷的增加,其功能也越來越完善。
真空鍍膜設備普遍應用于工業生產,在與待鍍工件形成薄膜的過程中,可以地測量和控制蒸發或濺射成膜材料的膜厚,從而保證膜厚的均勻性。磁控鍍膜機的真空鍍膜技術的特點主要包括真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍、真空束沉積和化學氣相沉積。