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發布時間:2020-11-11 12:38  
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真空設備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。只要水壓不變,泄漏率大小就不會發生很大變化,因而可以獲得較為一致的結果。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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真空設備檢漏
一個真空系統(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現實的,也是沒有必要的,所以就要根據真空系統實際應用的具體條件,對漏率指標提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強低于真空系統工作所需的壓強,這些漏孔就是允許的。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。真空系統正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡稱允許漏率。此值不僅是設計真空系統的一項主要指標,也是檢漏的依據。
如果已知允許的總氣載,而沒有具體指明究竟有多大,那么,在設計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統所允許的總漏率也不同。
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一個真空系統,經相當長時間抽氣之后,仍然達不到預期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統本身的問題。放氣,即真空系統或容器內部存在氣體或氣源。基本工作原理是使用專門開發的氫氣傳感器,它只對氫氣有響應信號,而對其他氣體沒有響應,屬于唯1性檢漏性檢漏方法。漏氣,即真空系統或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題,即準確檢出漏孔并加以修補。常規檢漏內容包括:用適當的方法判斷真空系統中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補堵漏。
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