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發布時間:2021-10-22 09:22  
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雙靶磁控濺射鍍膜機的特點有哪些?
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售磁控濺射產品,以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。
產品特點
1:此款鍍膜儀配置有兩個靶槍:一個靶槍配套的是射頻電源,用于非導電靶材的濺射鍍膜;一個靶槍配套的是直流電源,用于導電材料的濺射鍍膜
2:該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜,應用非常廣泛。
3:該鍍膜儀體積較小,且配備有觸摸屏控制面板,操作方便。
磁控濺射“磁控反應”介紹
磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。另外,靶材原子在飛向基片的過程中與氣體分子的碰撞幾率也大為增加,因而被散射到整個腔體,既會造成靶材浪費,又會在制備多層膜時造成各層的污染。主要問題是反應不光發生在零件表面,也發生在陽極,真空腔體表面以及靶源表面,從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發明的孿生靶源技術,很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是一切源(磁控,多弧,離子)所必需,因為能量很大一部分轉為熱量,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。
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磁控濺射鍍膜機的特點
擅長生長高質量的薄膜或是超薄 膜, 金屬與絕緣材料.保證 的抽氣速度, 與友廠對比,氫和氧的污染系數好數十倍. 可制作與外延品質類似的薄膜..烘烤時可把磁鐵拆下以保護磁鐵不退磁. 客戶可選擇 RHEED, 在磁鐵拆下時可檢測樣品薄膜的質量. Sputter 24 均勻性及重現性非常出色, 可以使用DC, RF, 脈沖直流電源. 標準材料與磁性材料均可使用. 可安排成共濺射與垂直濺射, 根據需求設計安裝.
與激光加熱器聯用可變為反應型磁控濺射, 可成長氧化物薄膜與氮化物薄膜等. 正下方可安裝一只離子源, 可以提供樣品清洗與輔助鍍膜.
期望大家在選購磁控濺射產品時多一份細心,少一份浮躁,不要錯過細節疑問。想要了解更多磁控濺射產品的相關資訊,歡迎撥打圖片上的熱線電話!!!