感應耦合等離子體刻蝕機哪家好-創(chuàng)世威納

感應耦合等離子體刻蝕機的結(jié)構(gòu)二

創(chuàng)世威納——**感應耦合等離子體刻蝕供應商，感應耦合等離子體刻蝕機工作原理，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>

刻蝕腔體刻蝕腔體是ICP 刻蝕設(shè)備的核心結(jié)構(gòu)，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響。刻蝕腔的主要組成有：上電極、ICP 射頻單元、RF 射頻單元、下電極系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)等組成。

以上就是關(guān)于感應耦合等離子體刻蝕的相關(guān)內(nèi)容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話！

感應耦合等離子體刻蝕機的結(jié)構(gòu)四

真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)有兩套，感應耦合等離子體刻蝕機生產(chǎn)廠家，分別用于預真空室和刻蝕腔體。預真空室由機械泵單獨抽真空，只有在預真空室真空度達到設(shè)定值時，感應耦合等離子體刻蝕機哪家好，才能打開隔離門，進行傳送片。刻蝕腔體的真空由機械泵和分子泵共同提供，內(nèi)蒙古感應耦合等離子體刻蝕機，刻蝕腔體反應生成的氣體也由真空系統(tǒng)排空。

想了解更多關(guān)于感應耦合等離子體刻蝕的相關(guān)資訊，請持續(xù)關(guān)注本公司。

等離子刻蝕機

創(chuàng)世威納——**感應耦合等離子體刻蝕供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>

等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講，等離子清洗實質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應，反應的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。近期的發(fā)展是在反應室的內(nèi)部安裝成擱架形式，這種設(shè)計的是富有彈性的，用戶可以移去架子來配置合適的等離子體的蝕刻方法：反應性等離子體（RIE），順流等離子體（downstream），直接等離子體（direction plasma）。

感應耦合等離子體刻蝕機哪家好-創(chuàng)世威納由北京創(chuàng)世威納科技有限公司提供。感應耦合等離子體刻蝕機哪家好-創(chuàng)世威納是北京創(chuàng)世威納科技有限公司升級推出的，以上圖片和信息僅供參考，如了解詳情,請您撥打本頁面或圖片上的聯(lián)系電話，業(yè)務聯(lián)系人：蘇經(jīng)理。