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發布時間：2021-05-23 07:39
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如何選擇管式爐？
1、了解您的應用程序
單區與多區：多區爐具有多個獨立控制的恒溫區，允許受控的溫度梯度或較長的加熱區。
水平（標準）與垂直：垂直管爐提供較小的占地面積，可用于快速加熱/淬火過程
RTP（快速熱處理）：可滑動的樣品保持器或加熱爐
高壓/真空爐：特殊設計的高溫高壓真空處理用不銹鋼或高溫合金管
旋轉管式爐：加熱過程中旋轉管以提高粉末加工/涂層均勻性
氣體處理能力：可用于氫氣處理和高溫腐蝕研究的特殊模型
多功能：基于管式爐的完整系統，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生長系統等
確定管式爐的使用壽命：
快速冷卻管式爐，高溫打開爐門：由于管式爐的保溫效果非常好，絕緣過程中的能耗非常低，電源后的降溫速度非常慢供應停止了，有些客戶希望在實驗完成后立即進行下一個實驗，以便爐門在高溫下打開以獲得高溫下降率，但對管式爐的損壞非常大，并且熱量很容易由冷和熱引起，加熱元件不能承受這種熱沖擊。通常建議將管式爐小心地降低到600°C的溫度，小心地打開一個小門，確實需要高溫拾取和放置，請考慮是否可以使用碳化硅爐。
當真空管式氣氛爐出現緊急情況時如何應對？
一、當加熱室加熱突然停電：
1、立即關閉設備總電源；
2、關閉各管路的真空閥，防止空氣進入真空爐內；
3、加熱室通入高純氮氣到6.6*10-4使爐膛盡快冷卻下來。注意提前同時向冷卻室通氣以便壓住熱閘閥；
4、如果用循環水冷卻而停水，應啟用備用水(自來水或高位水箱)。
二、當加熱室加熱時突然停水：
1、立即切斷加熱電源；
2、啟用備用水；
3、將工件從加熱室轉移到冷卻室，充氮氣使工件快速冷卻；
4、加熱室充入高純氮氣，使其快速冷卻到150℃以下。
