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超聲波清洗的原理是利用它所造成介質(zhì)的“空隙現(xiàn)象”，即超聲波的振動引起清洗介質(zhì)疏密變化而達到清洗目的。振動使介質(zhì)時而稀疏，時而閉合，稀疏時形成瞬時的空隙；閉合時產(chǎn)生瞬時沖擊力可達到幾個大氣壓，這個強大的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中。

超聲波清洗可以去掉零件上孔內(nèi)部的污染物，這是一般清洗方法所無法實現(xiàn)的，超聲波清洗的溶液可以用水和其它溶劑，若用三會有更好的去油效果，常用工作頻率為4～10MHz。

隔膜真空泵往復(fù)真空泵靠活塞桿反復(fù)運動使泵腔（汽缸）的工作中容量周期性地轉(zhuǎn)變來抽真空的機械泵，又被稱為活塞桿機械泵。往復(fù)真空泵的構(gòu)造與往復(fù)式活塞桿制冷壓縮機類似。工作中時，呼吸管接被真空包裝器皿，排汽管直達空氣。往復(fù)真空泵可用以真空泵水蒸氣蒸餾、真空泵萃取、真空泵結(jié)晶體、真空抽濾、真空干燥機和混泥土真空泵工作等。

3爪式機械泵爪式機械泵（干式真空泵檢修）由多級別電機轉(zhuǎn)子組成，在其中每個級別都是有兩個電機轉(zhuǎn)子組成，2個電機轉(zhuǎn)子反向轉(zhuǎn)動，呼吸口與泵腔接入，泵腔容量增大而呼吸，當電機轉(zhuǎn)子關(guān)掉呼吸口時呼吸完畢，之后泵腔縮小而縮小汽體，當出氣口開啟后泵腔排氣管，出氣口關(guān)掉的時候排氣管結(jié)束，這般循環(huán)系統(tǒng)工作中。

摩擦副難以避免地要與周邊物質(zhì)觸碰，造成浸蝕、生銹而毀壞。主要表現(xiàn)的愛德華真空泵油規(guī)定盡量把摩擦總面積垢清理清除；耐腐蝕防銹處理并維護摩擦面不會受到油霉變或外地人腐蝕。空氣氧化安定性表明愛德華真空泵油的耐老化特性，對工業(yè)生產(chǎn)流水線生產(chǎn)的真空泵油都是有該項獨特特性規(guī)定。一切愛德華真空泵油都就其有機化學構(gòu)成和所在外部標準不一樣，而具備不一樣水平的全自動空氣氧化趨向。

往復(fù)式真空泵屬于干式真空泵，別名活塞式真空泵，主要是依靠汽缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運動來吸入和排出氣體。往復(fù)式真空泵操作簡單，不怕水蒸氣，非常牢固。一般情況下，往復(fù)式真空泵可能會出現(xiàn)以下幾類問題。 　　

1、真空泵抽速降低。造成真空泵抽速降低的原因包括：真空泵閥片斷裂、真空泵漏氣、吸入過高溫度的氣體以及氣缸磨損等。真空泵維修方法有：更換新閥片、修理氣缸以及加裝氣體冷卻裝置。 　　

2、真空泵的真空度降低。真空泵降低的主要原因有三點：1、閥片磨損；2、吸入氣體溫度過高；

3、氣閥片與閥座接觸不良。真空泵維修方法：1、更換新的閥片；2、加裝氣體冷卻裝置；3、氣閥片與閥座進行刮研。 　　3、真空泵電機負荷過高。電機負荷過高的原因包括：偏心輪與偏心圈摩擦發(fā)生高熱和連桿軸瓦產(chǎn)生高熱。真空泵維修方法：檢查潤滑油的數(shù)量和真空泵油的容量。