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發布時間:2021-01-19 07:47  
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真空蒸發鍍膜常用的兩種鍍膜方法
常用的兩種鍍膜方法 1,真空蒸發鍍膜,就是把材料用一些特定方式液化后,蒸發結晶于鏡片表面的方式。離子輔助鍍膜是指蒸發過程中,微粒離子化,增加均勻性和附著力和氧化程度的方法。 2,濺射式鍍膜,是利用高電壓電離某些氣體,使之碰撞靶材增加能量,靶材能量到達一定程度噴射出來的鍍膜方式。離子濺射鍍膜是指在濺射能量來源為離子,并且微粒飛翔過程中有明顯離子狀態,并使用磁場控制其飛翔軌跡的鍍膜方式。

真空設備系統的簡單介紹
真空設備系統的簡單介紹 真空設備系統是由什么組成的呢?今天我們就來為大家簡單介紹一下。 (1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。 (2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。 (3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。 (4)維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
光學鍍膜機對于單片膜色不均勻產生的原因
光學鍍膜機對于單片膜色不均勻產生的原因 光學鍍膜機主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發源構成的蒸發角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。 另外鏡片被鏡圈()邊緣部遮擋、鏡圈()臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。 改善思路:改善鏡片邊緣的蒸發角。 改善對策: ㈠ 條件許可,用行星夾具; ㈡ 選用傘片平坦(R大)的機臺; ㈢ 根據傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 ㈣ 如果有可能,把蒸發源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 ㈤ 改善鏡圈(),防止遮擋。 ㈥ 注意旋轉傘架的相應部位對邊緣鏡片的部分遮擋 ㈦ 清潔鏡圈() ㈧ 改善膜料蒸發狀況。

真空鍍膜機的工作原理
真空鍍膜機的工作原理 在鍍膜領域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個重要因素。因此,當評價某薄膜樣品的性能時,需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:首先,不同次生長的樣品,儀器的狀態不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實驗裝取樣品需要重新進行真空的獲得,非常耗時。增加了生產和檢測的成本。 因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統,本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。 多功能磁控濺射鍍膜系統主要用途:用于制備各種金屬膜、半導體膜、介質膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。
