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              RR41光刻膠公司推薦廠家 北京賽米萊德公司

              發布時間:2020-12-17 07:35  

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              光刻膠趨勢

              半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。

              光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛,提供光刻膠的粘附性、化學抗蝕性,當沒有溶解存在時,線性酚醛樹脂會溶解在顯影液中,感光劑是光敏化合物,最常見的是重氮萘醌(DNQ)。

              總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持?!秶壹呻娐樊a業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;LCD市場助力全球LCD面板總出貨面積增長,LCD光刻膠需求增加。國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。


              PR1-1500A1RR41光刻膠公司

              正性光刻膠的金屬剝離技術

              正性膠的金屬剝離工藝對于獲得難腐蝕金屬的細微光刻圖形比常規的光刻膠掩蔽腐蝕法顯示了優越性。本文首先對金屬剝離工藝中的正、負光刻膠的性能作了對比分析。認為正性光刻膠除圖形分辨率高而適應于微細圖形的掩膜外,它還具有圖形邊緣陡直, 去膠容易等獨特性能,比負性光刻膠更有利于金屬剝離工藝。然后給出了具體的工藝條件,并根據正性光刻膠的使用特點指出了工藝中的關鍵點及容易出現的問題。在前烘過程中,由于溶劑揮發,光刻膠厚度也會減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。如正性光刻膠同GaAs表面的粘附性較差,這就要求對片子表面的清潔處理更為嚴格。為了高止光刻圖形的漂移控制光刻圖形的尺寸,對曝光時同特別是顯影液溫度提出了嚴格的要求。由于工藝中基本上不經過腐蝕過程,膠膜的耐腐蝕性降到了次要地位。


              NR9-1000py

              問題回饋:

              1.我們是LED制造商,麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。

              A 據我所知,Futurrex

              有幾款膠很,NR7-1500P

              NR7-3000P是專門為離子蝕刻

              設計的,NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應用。

              2.請問有沒有可以替代goodpr1518,Micropure去膠液和goodpr顯影液的產品?

              A 美國光刻膠,Futurrex

              正膠PR1-2000A

              , 去膠液RR4,和顯影液RD6可以解決以上問題。

              3.你們是否有可以替代Shipley

              S1805的用于DVD的應用產品?

              A 我們建議使用Futurrex

              PR1-500A , 它有幾個優點:比較好的解析度,比較好的線寬控制,

              反射比較少,不需要HMDS,RIE后去除容易等~

              4. 求助,耐高溫的光阻是那一種?

              A Futurrex, NR7 serious(負光阻)Orpr1 serious(正光阻),再經過HMCTS

              silyiation process,可以達到耐高溫200度,PSPI透明polyimide,可耐高溫250度以上。

              5.厚膜光阻在鍍金應用上,用哪一種比較理想?

              A Futurrex , NR4-8000P比干膜,和其他市面上的濕膜更加適合,和理想。

              6.請教LIFT-OFF制程哪一種光阻適合?

              A 可以考慮使用Futurrex

              ,正型光阻PR1,負型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度,完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

              7.請問,那位專家知道,RIE

              Mask,用什么光阻比較好?

              A 正型光阻用PR1系列,負型光阻使用NR5,兩種都可以耐高溫180度。

              8.一般厚膜制程中,哪一種光阻適合?

              A NR9-8000P有很高的深寬比(超過4:1),一般厚膜以及,MEMS產品的高需求。

              9.在DEEP

              RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎?

              A 建議不使用,因為使用NR5-8000更加理想和適合。

              10.我們是OLED,我們有一種制程上需要一層SPACER,那種光阻適合?

              A 有一種膠很適合,美國Futurrex

              生產的NR1-3000PY

              and和

              NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做spacers



              發展

              Futurrex在開發產品方面已經有很長的歷史

              我們的客戶一直在同我們共同合作,創造出了很多強勢的專利產品。

              在晶體管(transistor) ,封裝,微機電。顯示器,OLEDs,波導(waveguides) ,VCSELS,

              成像,電鍍,納米碳管,微流體,芯片倒裝等方面。我們都已經取得一系列的技術突破。

              目前Futurrex有數百個專利技術在美國專利商標局備案。

              Futurrex 產品目錄

              正性光刻膠

              增強粘附性正性光刻膠

              負性光刻膠

              增強粘附性負性光刻膠

              先進工藝負性光刻膠

              用于lift-off工藝的負性光刻膠

              非光刻涂層

              平坦化,保護、粘接涂層

              氧化硅旋涂(spin-on glas)

              摻雜層旋涂

              輔助化學品

              邊膠清洗液

              顯影液

              去膠液

              Futurrex所有光刻產品均無需加增粘劑(HMDS)


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