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發布時間:2020-11-04 00:06  
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脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積,是一種用途廣泛的薄膜沉積技術。脈沖激光快速蒸發靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的獨特之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。系統組成:主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。這樣,在材料合成時,工作壓力的動態范圍很寬,達到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有獨特功能的納米結構和納米顆粒。
另外,PLD 是一種“數字”技術,在納米尺度上進行工藝控制(A°/pulse)。
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