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發布時間：2020-09-07 05:29
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如何選擇真空檢漏儀
一．對檢漏方法的一般要求
1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；
2.反應時間短，可以提高工作效率；
3.能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；
4.能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；
5.穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；
6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；
8.檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求
二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則
1.主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；
2.根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。
氦質譜檢漏儀的日常保養與維護
以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內容，深圳銳誠真空專業生產氦檢漏設備，歡迎新老客戶蒞臨。
質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用，但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障和現象，從而影響設備的正常使用。
檢漏儀的故障和處理
1 內部的泄漏
當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。
2 本底信號不穩定
1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。
2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。
3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。
3 設備的分子泵不啟動
分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。
4 設備的質譜室不能正常工作
質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。
5 前級機械泵工作不正常
主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度在 10至 40之間使用。
檢漏儀的保養注意事項
1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間
2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。
3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。
4.檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）
5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。
6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。
真空法氦質譜檢漏原理
真空法氦質譜檢漏原理：
采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。
真空法檢漏有何優點：真空法的優點是檢測靈敏度高，可以定位漏孔，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
真空法檢漏缺點：真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能真實反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。
用途：真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。
