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發布時間:2020-12-25 07:53  
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硬涂層膜厚度的測量[FE-0004]
近年來,使用具有各種功能的高i性能薄膜的產品被廣泛使用,并且根據應用不同,還需要提供具有諸如摩擦阻力,抗沖擊性,耐熱性,薄膜表面的耐化學性等性能的保護薄膜。通常保護膜層是使用形成的硬涂層(HC)膜,但是根據HC膜的厚度不同,可能出現不起保護膜的作用,膜中發生翹曲,或者外觀不均勻和變形等不良。 因此,管理HC層的膜厚值很有必要。
膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜,其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導薄膜等在工業生產和人類生活中的不斷應用,在工業生產的薄膜,其厚度是一個非常重要的參數,直接關系到該薄膜材料能否正常工作。
如果膜厚測試儀已經進行了適當的校準,所有的測量值將保持在一定的誤差范圍內;根據統計學的觀點,一次讀數是不可靠的。因此任何由膜厚測試儀顯示的測量值都是五次“看不見”的測量的平均值。這五次測量是在幾分之一秒的時間內由探頭和儀器完成的。