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              OPTM膜厚儀歡迎來(lái)電 蘇州大塚電子

              發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 07:06  

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              使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

              可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件



              硬涂層膜厚度的測(cè)量[FE-0004]

              近年來(lái),使用具有各種功能的高i性能薄膜的產(chǎn)品被廣泛使用,并且根據(jù)應(yīng)用不同,還需要提供具有諸如摩擦阻力,抗沖擊性,耐熱性,薄膜表面的耐化學(xué)性等性能的保護(hù)薄膜。通常保護(hù)膜層是使用形成的硬涂層(HC)膜,但是根據(jù)HC膜的厚度不同,可能出現(xiàn)不起保護(hù)膜的作用,膜中發(fā)生翹曲,或者外觀不均勻和變形等不良。 因此,管理HC層的膜厚值很有必要。





              膜厚測(cè)試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機(jī)3小時(shí)以上再次重開(kāi)機(jī)必做,目的讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵)。待膜厚測(cè)試儀器自動(dòng)完成每一步,紅色STOP鍵會(huì)轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對(duì)話框時(shí),點(diǎn)擊“確定”即可。


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