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發布時間:2021-08-16 09:44  
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潽拓——{精},分子泵
廣州潽拓,EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修保養

主要特性和優勢
占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一,EPX 顯著節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧,增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和 安裝成本,如果需要也可遠程使用。
受zhuanli保護的獨特泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。
超清潔機構 - 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑,這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂,并且不存在 任何其他的潛在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年維修一次,zui大程度地延長了泵的 使用壽命。
運轉時的噪聲低至 56 dB(A),可在潔凈室內實現低噪聲。
廣州潽拓光電——Edwards EXT70H 24V愛德華分子泵維修 Edwards EXT70H

Edwards EXT70H 復合分子泵的電氣接口及DN 16 的抽氣接口
愛德華的Edwards EXT70H分子泵是專為超高真空設計的,其內部渦輪轉子是專門為高真空
開發的,層數較普通的 EXT70要多很多
該圖片就是 Edwards EXT 70H 24V Code:B722-26-991 對應口徑ISO100
復合分子泵,是英國愛德華真空為分析儀器專門設計的分子泵, Edwards EXT70H 24V 復合
分子泵,是專為超高真空設計的
現貨出售愛德華 Edwards nEXT 240分子泵及提供維修保養服務,歡迎來電咨詢
概述—— nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。
基本的分子泵系統通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。

Edwards PVMK是一種快動式直線或直角杠操作閥。杠杠與自潤滑的塑料凸輪活塞相連,通過PTFE軸承促動閥杠和閥板。閥板O型圈槽進行排氣以避免氣爆。閥設計為可在10-9mbar/8*10-10 Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的壓力范圍內運行。

愛德華茲pv40mk真空停止閥