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              發(fā)布時間:2020-12-30 09:19  

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                  微粒大小的量度通常以粒徑表示。直接減少向大氣的廢熱排放量,尤其對于南方地區(qū)具有良好的經(jīng)濟性。但是微粒特別是灰塵粒子并不都具有球形、立方形等規(guī)則的幾何外形,因此通常所稱微粒的“粒徑”,并不是指真正球體的直徑。在氣溶膠及空氣潔凈技術(shù)中,“粒徑”的意義通常是指通過微粒內(nèi)部的某個長度因次,而并不含有規(guī)則幾何形狀的意義。在分析微粒大小的時候,“粒徑”就是指的這種含意。 具體地說,粒徑可分為兩大類: 一類是按微粒幾何性質(zhì)直接進行測定和定義的,如顯微鏡法確定的粒徑。例如,在灰塵采樣以后,普通光學顯微鏡來觀測時,使灰塵標本向一個方向移動通過測微尺,此時微粒投影通過這一標尺時,為標尺刻度線所切的兩端的長度就代表粒徑。


              無塵室設(shè)計及工作環(huán)境的介紹


                無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。專用凈化空調(diào)機組國內(nèi)無定型產(chǎn)品,多數(shù)由凈化設(shè)備廠從空調(diào)器生產(chǎn)廠購進壓縮機、蒸發(fā)排管、冷凝器等散件,另配風壓較高、風量較大的風機及各級過濾器,重新設(shè)計箱體加工而成。更準確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用1大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。

                 無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環(huán)境。麗研究微粒的光散射性質(zhì)時宜用平均面積直徑Ds或平均體積直徑Dv,因為光散射量在不同的粒徑范圍內(nèi),可能與微粒面積或者微粒體積有關(guān)。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

                 無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。對于表中所列平均粒徑名稱要注意的是,在文獻中常出現(xiàn)互相顛倒的稱呼,例如此處稱“平均面積直徑”,而彼處則稱“面積平均直徑”,所以只有知道其表達式才能弄清準確意義。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風管道間,將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合,經(jīng)由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超過濾網(wǎng)或過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。




                 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝提供者的密切配合下,準確地確定潔凈室需設(shè)排風裝置的房間或工序或生產(chǎn)設(shè)備的排風量,這是由于潔凈室內(nèi)排風量的增加,即意味著凈化空調(diào)系統(tǒng)的補充新風量的增加。(2)潔凈度測試:分為空態(tài)條件下測試、靜態(tài)條件下測試、動態(tài)條件下測試,分別測試潔凈室內(nèi)粉塵的含量。在潔凈廠房設(shè)計中有時會出現(xiàn)由于排風量的增加使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風量大于規(guī)定的新鮮空氣需用量,從而使設(shè)計的熱(冷)負荷增加,因此,準確地確定潔凈室內(nèi)排風量是降低能量消耗的重要技術(shù)措施之一。



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