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發布時間:2021-09-22 21:05  
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真空鍍膜技術一般分為兩大類,即物理氣相沉積技術和化學氣相沉積技術。
物理氣相沉積技術是指在真空條件下,利用各種物理方法,將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,直接沉積到基體表面上的方法。
真空鍍膜有哪些優勢呢?
簡單清潔,不吸塵。
使塑料外表有導電性,改善美觀,外表光滑,金屬光澤彩色化,大大提高裝飾性。
改進外表硬度,原塑膠外表比金屬軟而易受損害,經過真空鍍膜技術,硬度及耐磨性大大添加。
削減吸水率,鍍膜次數愈多,吸水率下降,制品不易變形,提高耐熱性。
真空鍍膜技術之物理氣相沉積技術,它利用某種物理過程,如物質的熱蒸發,或受到離子轟擊時物質表面原子的濺射等現象,實現物質原子從源物質到薄膜的可控轉移過程。物理氣相沉積技術具有膜/基結合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩定的合金膜和重復性好等優點。
真空鍍膜應用屬于一種干式鍍膜,它的主要方法包括以下幾種:
1、真空蒸鍍
其原理是在真空條件下,用蒸發器加熱帶蒸發物質,使其氣化或升華,蒸發離子流直接射向基片。
2、濺射鍍膜
濺射鍍膜是真空條件下,帶正電的離子撞擊,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基片上形成膜層。
3、離子鍍膜
利用氣體放電使工作氣體或被蒸發物質(膜材)部分離化,并在離子轟擊下,將蒸發物或其反應物沉積在基片表面。
真空鍍膜技術的應用時較早的。真空鍍膜技術在電子方面開始是用來制造電阻和電容元件,之后隨著半導體技術在電機學領域中的應用,又使這一技術成為晶體管制造和集成電路生產的必要工藝手段。近年來,隨著集成路向大規模和超大規模集成方向發展,從而又對真空鍍膜技術提出了新的要求。因而在電機學領域中又產生了一個新的分支一薄膜微電子學。真空鍍膜表面的清洗非常重要,直接影響電鍍產品的質量。在進入鍍膜室之前,工件須在電鍍前仔細清洗。