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發布時間:2021-10-28 04:30  
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超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點是分辨率高,對待測樣品厚度的沒有限制。透射模式只在半導體企業中用作器件篩選。該系統的核心就是帶壓電陶瓷的微波鏈,壓電陶瓷在射頻信號發生的激勵下,產生短的聲脈沖,隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起,超聲波掃描顯微鏡的這 個帶壓電陶瓷的部件叫換能器,英文是:Transducer。換能器既能把電信號轉換成聲波信號,又能把從待測樣品反射或透射回來的聲波信號轉換成電信 號,送回系統進行處理。
超聲波顯微鏡在失效分析中的應用
晶圓面處分層缺陷 錫球、晶圓、或填膠中的開裂晶圓的傾斜各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)。超聲波顯微鏡的在失效分析中的優勢非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構 可分層掃描、多層掃描 實施、直觀的圖像及分析 缺陷的測量及缺陷面積和數量統計 可顯示材料內部的三維圖像 對人體是沒有傷害的 可檢測各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)
微光顯微鏡偵測不到亮點之情況:不會出現亮點的故障 - 歐姆接觸;金屬互聯短路;表面反型層;硅導電通路等。亮點被遮蔽之情況 - Buried Juncti及Leakage sites under metal,這種情況可以采用backside模式,但是只能探測近紅外波段的發光,且需要減薄及拋光處理。蘇州特斯特電子科技有限公司,主要從事各類測試、檢測儀器設備的代理銷售和技術服務,產品涵蓋電子元器件,電路板,線纜線束的測試與檢測。