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光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

導(dǎo)軌的導(dǎo)向精度和幾何精度是衡量直線導(dǎo)軌精度的重要指標(biāo)。

在這些參數(shù)中，導(dǎo)軌間的豎直度平行度以及導(dǎo)軌在平面上的直線度，直接決定了導(dǎo)軌的幾何精度；而導(dǎo)軌的導(dǎo)軌精度又比較復(fù)雜，其物理特性、組成結(jié)構(gòu)及工藝材料等都將影響其導(dǎo)軌精度。

直線導(dǎo)軌的直線度一般情況下，導(dǎo)軌直線度的標(biāo)準(zhǔn)用誤差數(shù)值表示，即測量單元與理想單元之間的偏差。對理想單位的選擇是非常嚴(yán)格的，需要根據(jù)規(guī)定的zui小條件進(jìn)行選擇。

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直線導(dǎo)軌的剛度在機(jī)床高速運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中，導(dǎo)軌因受力而產(chǎn)生變形，導(dǎo)軌會直接發(fā)生摩擦與碰撞。因此導(dǎo)軌的平面平整度，導(dǎo)軌的載重能力，導(dǎo)軌材料的選擇及結(jié)構(gòu)布置等均嚴(yán)格按照設(shè)計規(guī)范進(jìn)行。

直線導(dǎo)軌表面粗糙度導(dǎo)向器表面粗糙度一般是由導(dǎo)向器的硬度和材質(zhì)所決定的，選擇導(dǎo)向器時應(yīng)根據(jù)實際情況選擇合理的、適用性較強(qiáng)的制造材料，減少影響導(dǎo)向器精度的可能性。

直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)型式。導(dǎo)向架的安裝布局和導(dǎo)向架本身的結(jié)構(gòu)外形直接影響到機(jī)床的各項精度指標(biāo)。對機(jī)床定位和重復(fù)定位影響zui直接。

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強(qiáng)；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

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節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。

大理石氣浮導(dǎo)軌對材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

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4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強(qiáng)度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對于運(yùn)動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動而產(chǎn)生的測量機(jī)慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

鑲鋼導(dǎo)軌是機(jī)床上zui常用的導(dǎo)軌形式，其使用已有很長的歷史。鋼質(zhì)鑲嵌式導(dǎo)軌截面為矩形，是導(dǎo)軌系統(tǒng)的固定部件?？梢运窖b裝于床上，也可以與床身鑄成一體，分別稱為鑲鋼式和整體式。鑲鋼導(dǎo)軌是用鋼制成，淬硬并研磨而成。剛度在洛氏硬度60度以上，用螺釘或粘合劑(環(huán)氧樹脂)將鑲鋼導(dǎo)軌固定在機(jī)床床身或經(jīng)刮研的柱面上，確保導(dǎo)軌達(dá)到zui佳的平面度。該型式，維修更換方便，簡單，深受維修人員的歡迎。

常規(guī)導(dǎo)軌的發(fā)展，首先表現(xiàn)在滑動部件和導(dǎo)軌形式上，滑動導(dǎo)軌的特點是導(dǎo)軌與滑動件之間采用介質(zhì)，而不同的形式就在于選用的介質(zhì)不同。

在運(yùn)動部件和導(dǎo)軌之間也可采用氣體介質(zhì)，氣體介質(zhì)的靜壓力導(dǎo)軌和靜壓力導(dǎo)軌是兩種形式，工作原理與液壓導(dǎo)軌相同。

直線式導(dǎo)向系統(tǒng)使機(jī)床能夠獲得快速進(jìn)給速度，在相同主軸轉(zhuǎn)速下，直線式導(dǎo)向具有同樣的特點。和平面導(dǎo)軌一樣，直線導(dǎo)軌也有兩個基本部件：一個是作為導(dǎo)向的固定部件，另一個是移動部件。因為直線導(dǎo)軌是標(biāo)準(zhǔn)零件，對于機(jī)床制造廠.所做的只是加工一條安裝導(dǎo)軌的平面和校正導(dǎo)軌的平行度。要保證機(jī)床精度，床身或少量的刮研是必要的，而且在大多數(shù)情況下，安裝也比較簡單。