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光波超精密——單軸花崗石氣浮導軌

氣浮導軌的作用：是保證機器運行平穩、精度高的關鍵。

氣浮導軌類型：

一、氣浮導軌

二、直線球導軌

三、行狀氣浮導軌：1)矩形導軌2)三角形導軌3)燕尾式導軌

光波超精密氣浮導軌廠家——單軸花崗石氣浮導軌

氣浮導軌工作原理：氣浮導軌以氣浮軸承為核心。采用氣體軸承小孔r1節流形成高壓氣體腔體P0，在導軌與氣體軸承之間形成具有一定承載能力的剛性薄膜。

氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。對于超高精度測量機來說，氣浮間隙和氣腔壓力的穩定至關重要。

氣浮導軌的優點：具有不磨、不磨的特點，由于勻差作用，局部運動直線度小，角擺動能小，測量機一般采用氣浮導軌。

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

光波超精密空氣導軌——單軸花崗石氣浮導軌

節流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。空氣浮筒導軌是由導軌和滑板組成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節流器類型以小孔節流、環面節流和狹縫節流形式應用zui多；多孔質和環面淺腔節流是兩種較新的節流形式，具有承載能力高、穩定性好等優點，但對多孔質節流器而言，其節流特性主要受滲透系數的影響，而滲透系數主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數值難以確定。環面式淺腔節流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節流器的應用。剩下的節流形式，在實際中很少使用。

基于氣體動靜壓效應，氣浮導軌實現無摩擦、無振動的平穩運動。其特點是運動精i確，清潔無污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅動、傳感器、閉環系統的方式實現高精度位移定位。不需要時，不可從直直線導軌上卸下滑塊，如必須卸下時，應先將輔助直直線導軌對準，再卸下滑塊。氣浮導軌廣泛應用于測量儀器和精密機械中，超精密工作臺常用的導軌有滾動導軌、靜壓力導軌等，滾動導軌的使用已用多年，滾動導軌運動精度可達微米級，摩擦因數可降至0.002~0.003。滾動式導軌具有滾動摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現象，但其摩擦系數大，抗沖擊性能差，運動不平穩，使用壽命低等優點，在實際應用中還存在不足。

與普通滾動導軌相比，氣浮導軌具有以下優點

導軌面之間為氣體潤滑，其摩擦系數極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動功率；

由于系非接觸摩擦，所以導軌磨損極i小，壽命長，可長期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌的運動精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒有關系，即使在非常低的速度下也不會產生爬行，運動平穩；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產生熱量，不發生粘度變化。

光波超精密技術研究院——單軸花崗石氣浮導軌

設備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導軌組系統、精密氣浮工作臺系統、移動驅動系統、長導軌電、氣傳輸隨動系統、CCD 影像系統、溫度補償系統。

自動驅動功能和影像測量功能的配置

3、設備的簡單規格：3.1、精密導軌采用高精度花崗巖組拼接，長度按客戶需求，高精度直線導軌的工作面應無劃傷、裂紋、夾層、銹蝕等影響設備氣浮位移性和設備絕i對穩定性的質量缺陷。

導軌直線度：水平方向：0.003 mm/m 4000mm 0.015 mm； 若裝置行程 6 米以上即需要拼接，單根導軌長度 4 米。

光波超精密氣浮導軌——單軸花崗石氣浮導軌

3.2 、導軌前端獨立的工作臺（不小于 1000x630）mm，安置備用鑲嵌件（螺紋孔），以放置激光測量系統。

3.3 、主支撐采用專用調整工裝，氣浮支撐調整裝置，每根導軌 3 個，其余采用 5 個輔助千斤頂支撐。3.4、滑動工作臺系統：滑動工作臺為氣浮結構。

3.4.1. 手動方式可實現微調，保證對線及其他定位（自動方式另有方案）。

3.4.2. 氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學附件及標準  裝置。

3.4.3. 氣吸附滑動工作臺承載能力大于 50 ㎏。