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發布時間:2020-11-17 08:02  






磁控濺射中靶zhong毒是怎么回事,一般的影響因素是什么?
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靶zhong毒的物理解釋
(1)一般情況下,金屬化合物的二次電子發射系數比金屬的高,靶zhong毒后,靶材表面都是金屬化合物,在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數量增加,提高了空間的導通能力,降低了等離子體阻抗,導致濺射電壓降低。從而降低了濺射速率。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當發生靶zhong毒時,濺射電壓會顯著降低。(2)金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣,磁控濺射鍍膜機,一般情況下金屬的濺射系數要比化合物的濺射系數高,所以靶zhong毒后濺射速率低。(3)反應濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低,所以反應氣體比例增加后,磁控濺射鍍膜機哪家好,綜合濺射速率降低。


濺射鍍膜機濺射鍍技術優點
濺射鍍膜機濺射鍍技術應用 蒸發和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機,主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。由于鍍膜室為立式容器,所以它具有臥式鍍膜機的一切優點,磁控濺射鍍膜機原理, 又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡,更可方便地實現自動生產線,是替代傳統濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設備。本機鍍部分產品可不做底油。本機主 要特點配用改進型高真空排氣系統,抽速快、、節電、降噪和延長泵使用壽命;實現蒸發、磁控濺射、自動控制,操作簡單,工作可靠。
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磁控濺射原理
濺射過程即為入射離子通過--系列碰撞進行能量和動量交換的過程。
電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與Ar原子發生碰撞,電離出大量的Ar離子和電子,磁控濺射鍍膜機廠家,電子飛向基片,在此過程中不斷和Ar原子碰撞,產生更多的Ar離子和電子。Ar離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。
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