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發布時間:2020-12-07 08:03  






磁控濺射原理
濺射過程即為入射離子通過--系列碰撞進行能量和動量交換的過程。
電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與Ar原子發生碰撞,電離出大量的Ar離子和電子,電子飛向基片,在此過程中不斷和Ar原子碰撞,產生更多的Ar離子和電子。Ar離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。
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濺射鍍膜機濺射鍍技術優點
濺射鍍膜機濺射鍍技術應用 蒸發和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機,主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。由于鍍膜室為立式容器,所以它具有臥式鍍膜機的一切優點, 又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡,更可方便地實現自動生產線,是替代傳統濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設備。本機鍍部分產品可不做底油。本機主 要特點配用改進型高真空排氣系統,抽速快、、節電、降噪和延長泵使用壽命;實現蒸發、磁控濺射、自動控制,操作簡單,工作可靠。
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磁控濺射鍍膜儀應用廣泛
目前我國磁控濺射鍍膜儀市場銷售非常火熱,這是一項熱門的新技術,它帶給企業和廠家的不僅僅是技術,還能夠節省大量的人工運作成本,因此深受廣大用戶的青睞。
磁控濺射鍍膜設備可制備多種薄膜,不同功能的薄膜,還可沉積組分混合的混合物、化合物薄膜;磁控濺射等離子體阻抗低,從而導致了高放電電流,在約500V的電壓下放電電流可從1A 到100A(取決于陰極的長度);成膜速率高,沉積速率變化范圍可從1nm/s到10nm/s;成膜的一致性好,磁控濺射鍍膜機,甚至是在數米長的陰極濺射的情況下,仍能保證膜層的一致性;基板溫升低;濺射出來的粒子能量約為幾十電子伏特,成膜較為致密,且膜基結合較好。
磁控濺射鍍膜設備得以廣泛的應用是因為該技術的特點所決定的,其特點可歸納為:可制備成靶材的各種材料均可作為薄膜材料,包括各種金屬、半導體、鐵磁材料,以及絕緣的氧化物、陶瓷、聚合物等物質。
另外磁控濺射調節參數則可調諧薄膜性能,尤其適合大面積鍍膜,沉積面積大膜層比較均勻。
近年來,磁控濺射鍍膜設備在我國愈發的流行,從側面反映出了我國工業發展十分迅速,今后設備取代人工的可能性是非常巨大的。
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