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光刻膠的組成

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樹(shù)脂( resin/polymer)，光刻膠中不同材料的粘合劑，給與光刻膠的機(jī)械與化學(xué)性質(zhì)( 如粘附性、膠膜厚度、熱穩(wěn)定性等);感光劑，感光劑對(duì)光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng);溶劑(Solvent)，保持光刻膠的液體狀態(tài)，使之具有良好的流動(dòng)性;添加劑( Additive )，用以改變光刻膠的某些特性，厚光刻膠報(bào)價(jià)，如改善光刻膠發(fā)生反射而添加染色劑等。負(fù)性光刻膠。樹(shù)脂是聚異戊二烯，玻璃光刻膠報(bào)價(jià)，一-種天然的橡膠;溶劑是;感光劑是一種經(jīng)過(guò)曝光后釋放出氮?dú)獾墓饷魟a(chǎn)生的自由基在橡膠分子間形成交聯(lián)。從而變得不溶于顯影液。負(fù)性光刻膠在曝光區(qū)由溶劑引起泡漲;曝光時(shí)光刻膠容易與氮?dú)夥磻?yīng)而抑制交聯(lián)。

光刻膠分類(lèi)

光刻膠按其形成圖形的極性可以分為：正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。正膠指的是聚合物的長(zhǎng)鏈分子因光照而截?cái)喑啥替湻肿樱回?fù)膠指的是聚合物的短鏈分子因光照而交鏈長(zhǎng)鏈分子。 短鏈分子聚合物可以被顯影液溶解掉，因此正膠的曝光部分被去掉，而負(fù)膠的曝光部分被保留。

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硅片模具加工如何選擇光刻膠呢？

注意事項(xiàng)：

①若腐蝕液為堿性，干光刻膠報(bào)價(jià)，則不宜用正性光刻膠；

②看光刻機(jī)型式，若是投影方式，用常規(guī)負(fù)膠時(shí)氮?dú)猸h(huán)境可能會(huì)有些問(wèn)題

③負(fù)性膠價(jià)格成本低，光刻膠報(bào)價(jià)，正性膠較貴；

④工藝方面：負(fù)性膠能很好地獲得單根線(xiàn)，而正性膠可獲得孤立的洞和槽；

⑤健康方面：負(fù)性膠為有機(jī)溶液處理，不利于環(huán)境；正性膠屬于水溶液，對(duì)健康、環(huán)境無(wú)害。

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