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發(fā)布時間:2022-06-15 05:11  





光刻膠概況
以下內(nèi)容由賽米萊德為您提供,今天我們來分享光刻膠的相關(guān)內(nèi)容,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助!
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是光刻工藝的關(guān)鍵化學品,主要利用光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上,被廣泛應用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細加工,同時在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過程中也有廣泛應用,是微細加工技術(shù)的關(guān)鍵性材料。光刻膠的主要成分為樹脂、單體、光引發(fā)劑及添加助劑四類。其中,樹脂約占 50%,單體約占35%,光引發(fā)劑及添加助劑約占15%。

如何選擇光刻膠
光刻膠必須滿足幾個硬性指標要求:高靈敏度,高對比度,NR71 3000PY光刻膠,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長壽命周期,NR71 3000PY光刻膠廠家,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度(Tg)。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。大多數(shù)光刻膠是無定向的聚合體。當溫度高于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,聚合體中相當多的鏈條片以分子運動形式出現(xiàn),因此呈粘性流動。當溫度低于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,鏈條片段的分子運動停止,聚合體表現(xiàn)為玻璃而不是橡膠。當Tg低于室溫,膠視為橡膠。當Tg高于室溫,膠被視為玻璃。由于溫度高于Tg時,聚合體流動容易,于是加熱膠至它的玻璃轉(zhuǎn)化溫度一段時間進行退火處理,可達到更穩(wěn)定的能量狀態(tài)。在橡膠狀態(tài),溶劑可以容易從聚合體中去除,如軟烘培膠工藝。但此時膠的工作環(huán)境需要格外關(guān)注,當軟化膠溫度大于Tg時,它容易除去溶劑,但也容易混入各種雜質(zhì)。一般來說,結(jié)晶的聚合體不會用來作為膠,因為結(jié)晶片的構(gòu)成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻膠的作用
光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,NR71 3000PY光刻膠公司,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能
管感光材料,在光的照射與溶解度發(fā)生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據(jù)光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和
正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚酸系(聚酯膠)和環(huán)化橡膠系兩大類
2、正性光刻膠
主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優(yōu)點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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