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發布時間:2020-11-11 02:08  






磁控濺射
磁控濺射靶材的利用率可成為磁控濺射源的工程設計和生產工藝成本核算的一個參數。目前沒有見到對磁控濺射靶材利用率專門或系統研究的報道,而從理論上對磁控濺射靶材利用率近似計算的探討具有實際意義。對于靜態直冷矩形平面靶,即靶材與磁體之間無相對運動且靶材直接與冷卻水接觸的靶,?靶材利用率數據多在20%~30%左右(間冷靶相對要高一些,但其被刻蝕過程與直冷靶相同,不作專門討論),且多為估計值。為了提高靶材利用率,研究出來了不同形式的動態靶,其中以旋轉磁場圓柱靶工業上被廣泛應用,據稱這種靶材的利用率可超過70%,但缺少足夠數據或理論證明。常見的磁控濺射靶材從幾何形狀上看有三種類型:矩形平面、圓形平面和圓柱管? 如何提高利用率是真空磁控濺射鍍膜行業的重點,圓柱管靶利用高,但在有些產業是不適用的,如何提高靶材利用,請到此一看的朋友,在下面留下你的見解,提供好的方法。
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磁控濺射鍍膜設備的主要用途
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1.各種各樣多功能性的塑料薄膜鍍一層薄薄的膜。所鍍的膜通常可以消化吸收、散射、反射面、折射角、偏光等實際效果。
2.服裝裝飾設計應用領域,例如各種各樣光的反射鍍一層薄薄的膜及其透明色鍍一層薄薄的膜,可可用在手機殼、電腦鼠標等商品上。
3.電子光學制造行業行業中,其是這種非快熱式鍍一層薄薄的膜技術性,關鍵運用在有機化學氣候堆積上。
4.在電子光學行業中主要用途極大,例如光學薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和全透明導電性夾層玻璃等層面獲得運用。
5.在機械制造業生產加工中,其表層作用膜、超硬膜這些。其功效可以出示物件表層強度進而提升有機化學可靠性能,可以增加物件應用周期時間。


磁控濺射
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,磁控濺射,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點。
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

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