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發布時間:2020-12-05 08:03  






刻蝕工藝過程
以下內容由創世威納為您提供,今天我們來分享刻蝕工藝過程的相關內容,希望對同行業的朋友有所幫助!
等離子體刻蝕工藝包括以下六個步驟。 分離: 氣體由等離子體分離為可化學反應的元素; 擴散: 這些元素擴散并吸附到硅片表面; 表面擴散:到達表面后,大樣片離子束刻蝕機價格, 四處移動; 反應: 與硅片表面的膜發生反應; 解吸: 反應的生成物解吸,大樣片離子束刻蝕機品牌, 離開硅片表面; 排放: 排放出反應腔。


離子束刻蝕機的應用
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應用先進的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,大樣片離子束刻蝕機哪家好,將應變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統的膠粘工藝,顯著改善了應變式傳感器的長期穩定性及抗蠕變特性,使產品使用的溫度范圍大為擴展。由于沒有活動部件,抗振動和抗沖的能力很強,可用于惡劣的環境。


離子束刻蝕速率
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刻蝕速率是指單位時間內離子從材料表面刻蝕去除的材料厚度,單位通常為A/minnm/min.刻蝕速率與諸多因素有關,包括離子能量、束流密度、離子入射方向、材料溫度及成分、氣體與材料化學反應狀態及速率、刻蝕生成物、物理與化學功能強度配比、材料種類、電子中和程度等。



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