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              NR7 6000PY光刻膠報(bào)價(jià)量大從優(yōu) 賽米萊德公司

              發(fā)布時(shí)間:2020-11-14 13:16  

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              光刻膠介紹

              光刻膠介紹

              光刻膠(又稱光致抗蝕劑),是指通過紫外光、準(zhǔn)分子激光、電子束、離子束、x射線等光源的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻材料。光刻膠具有光化學(xué)敏感性,其經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝,可以將設(shè)計(jì)好的微細(xì)圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工基片。結(jié)合雙掩膜和雙刻蝕等技術(shù),現(xiàn)有光刻技術(shù)使得我們能夠用193nm的激光完成10nm工藝的光刻。因此光刻膠微細(xì)加工技術(shù)中的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路的加工制作。生產(chǎn)光刻膠的原料包括光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體和其他助劑等。


              北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國(guó)Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢(shì): 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時(shí)間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計(jì)。在工藝發(fā)展的早期,負(fù)膠一直在光刻工藝中占主導(dǎo)地位,隨著VLSIIC和2~5微米圖形尺寸的出現(xiàn),負(fù)膠已不能滿足要求。

              歡迎各界朋友采購(gòu)合作,請(qǐng)及時(shí)撥打電話聯(lián)系我們


              ?Futurrex

              提供先進(jìn)化學(xué)技術(shù)的多樣化解決方案

              成立于1985年,總部設(shè)在美國(guó)新澤西州,富蘭克林市,高速成長(zhǎng)并超過20年連續(xù)盈利的跨國(guó)公司

              公司業(yè)務(wù)覆蓋范圍包括北美,亞太以及歐洲

              基于多樣化的技術(shù)

              應(yīng)用領(lǐng)域:微電子、光電子、LED、太陽能光伏、微機(jī)電系統(tǒng)、生物芯片、微流體、平面印刷

              解決方案:的光刻膠、摻雜涂層、平坦化涂層、旋制氧化硅(spin-onglase)。阻擋層(Barrior Layere)、濕法制程

              客戶:從財(cái)富100強(qiáng)到以風(fēng)險(xiǎn)投資為背景的設(shè)備研發(fā)及制造公司

              使命

              目標(biāo)

              提供特殊化學(xué)品和全新工藝來增加客戶的產(chǎn)能

              策略

              提供獨(dú)特的產(chǎn)品來優(yōu)化生產(chǎn)制程,以提高設(shè)備能效

              領(lǐng)的技術(shù)提升生產(chǎn)過程中的整體性價(jià)比

              工藝步驟的減少降低了成本和產(chǎn)生瑕疵的可能

              增加客戶的產(chǎn)能和生產(chǎn)的效率

              工藝減化

              非同尋常的顯微構(gòu)造、金屬及介電層上的圖形轉(zhuǎn)換、光刻、平坦化、摻雜、蝕刻、邦定

              在生產(chǎn)過程中,不含有害溶劑

              支持所有客戶的需要,與客戶共創(chuàng)成功


              光刻膠

              光刻膠由光引發(fā)劑、樹脂、溶劑等基礎(chǔ)組分組成,又被稱為光致抗蝕劑,這是一種對(duì)光非常敏感的化合物。此外,光刻膠中還會(huì)添加光增感劑、光致產(chǎn)酸劑等成分來達(dá)到提高光引發(fā)效率、優(yōu)化線路圖形精密度的目的。按照感光樹脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)分類,光刻膠可以分為①光聚合型,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,進(jìn)一步引發(fā)單體聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特點(diǎn)。在受到紫外光曝光后,它在顯影液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化。

              分類

              根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的特性可以分為兩類。

              正膠

              曝光前對(duì)顯影液不可溶,而曝光后變成了可溶的,能得到與掩模板遮光區(qū)相同的圖形。

              優(yōu)點(diǎn):分辨率高、對(duì)比度好。

              缺點(diǎn):粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。

              靈敏度:曝光區(qū)域光刻膠完全溶解時(shí)所需的能量

              負(fù)膠egative






              Photo Resist)

              與正膠反之。

              優(yōu)點(diǎn): 良好的粘附能力和抗刻蝕能力、感光速度快。

              缺點(diǎn): 顯影時(shí)發(fā)生變形和膨脹,導(dǎo)致其分辨率。

              靈敏度:保留曝光區(qū)域光刻膠原始厚度的50%所需的能量。


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