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              發布時間:2020-12-11 14:12  

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              光刻膠趨勢

              半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。

              光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;LCD是非主動發光器件,其色彩顯示必須由本身的背光系統或外部的環境光提供光源,通過驅動器與控制器形成灰階顯示,再利用彩色濾光片產生紅、綠、藍三基色,依據混色原理形成彩色顯示畫面。光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。

              總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;5,顯影液在已經曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或將其浸泡在顯影液中,正膠是曝光區、而負膠是非曝光區的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現出來,形成三維圖像。國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。


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              2,涂膠,在硅片覆蓋,旋轉,離心力,在硅片表面通過旋轉的光刻膠,工藝參數3000-6000rpm   膠膜厚0.5-1um, 

              3,前烘,通過在較高溫度下進行烘焙,使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發,溶劑將至5%左右,同時增強與襯底的粘附性。前烘方法:熱平板傳導,干燥循環熱風提高附著力,紅外線輻射。

              烘箱前烘條件:90-100度,10-20min,前烘時間與溫度應適當,如太長或溫度太高,光刻膠層變脆而附著力下降,而前烘不足會影響后面的顯影效果。


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              正性光刻膠的金屬剝離技術

              正性膠的金屬剝離工藝對于獲得難腐蝕金屬的細微光刻圖形比常規的光刻膠掩蔽腐蝕法顯示了優越性。本文首先對金屬剝離工藝中的正、負光刻膠的性能作了對比分析。認為正性光刻膠除圖形分辨率高而適應于微細圖形的掩膜外,它還具有圖形邊緣陡直, 去膠容易等獨特性能,比負性光刻膠更有利于金屬剝離工藝。然后給出了具體的工藝條件,并根據正性光刻膠的使用特點指出了工藝中的關鍵點及容易出現的問題。如正性光刻膠同GaAs表面的粘附性較差,這就要求對片子表面的清潔處理更為嚴格。為了高止光刻圖形的漂移控制光刻圖形的尺寸,對曝光時同特別是顯影液溫度提出了嚴格的要求。在下游產業的帶動下,江瀚咨詢預計國際光刻膠市場規模在2022年可能突破100億美元。由于工藝中基本上不經過腐蝕過程,膠膜的耐腐蝕性降到了次要地位。


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              光刻膠存儲條件及操作防護

              光刻膠是一種可燃液體,儲存條件應符合對應的法規,不要與強氧化劑混合,存放在通風良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。


              個人防護

              眼睛:佩戴化學飛濺護目鏡。

              皮膚:戴上適當的防護手套防止皮膚暴露。


              服裝:穿戴合適的防護服防止皮膚暴露。

              呼吸器:無論何時在工作環境下呼吸保護必須遵循中國職業安全健康管理局標準的規定和ANSI美國國家標準學會Z88.2的相關要求,或必須執行歐洲呼吸防護EN 149的標準。



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