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發布時間:2020-12-31 08:09  
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LCD市場助力
全球LCD面板總出貨面積增長,LCD光刻膠需求增加。據WitsView數據,雖然近三年國際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場擴增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達到1.7億平方米,同比增長4.6%。過去由于我國在開始規劃發展集成電路產業上,布局不合理、不完整,特別是生產加工環節的投資,而忽視了重要的基礎材料、裝備與應用研究。隨著LCD出貨面積的持續增長,中國產業信息網預測,未來幾年全球LCD光刻膠的需求量增長速度為4%~6%。隨著國內廠商占據LCD市場比重越來越大,國內LCD光刻膠需求也會持續增長。
光刻膠國際化發展
業內人士認為,按照現在“單打獨斗”的研發路徑,肯定不行。該技術的引入,可明顯減小光刻膠表面對入射光的反射和散射,從而改善光刻膠的分辨率性能,但由此將引起工藝復雜性和光刻成本的增加。政府相關部門要加大產業政策的配套支持力度,應從加快完善整個產業鏈出發,定向梳理國內缺失的、產業依賴度高的關鍵核心電子化學品,要針對電子化學品開發難度高,檢測設備要求高的特點,組織匯聚一些優勢企業和專家,形成一個產業聯盟,國家建立一個生產應用示范平臺,集中力量突破一些關鍵技術。
江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示,光刻膠要真正實現國產化,難度很大。問題是國內缺乏生產光刻膠所需的原材料,致使現開發的產品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。當顯影后NR9-3000PY顯示出負的側壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。而作為生產光刻膠重要的色漿,至今依賴日本。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產,光刻膠國產化就遙遙無期。因此,必須通過科研單位、生產企業的協同創新,盡快取得突破。
有專家提出,盡管國產光刻膠在面板一時用不起來,但政府還是要從政策上鼓勵國內普通面板的生產企業盡快用起來。目前,半導體市場上主要使用的光刻膠包括g線、i線、KrF、ArF四類光刻膠,其中,g線和i線光刻膠是市場上使用量較大的。只有在應用過程中才能發現問題,解決問題,不斷提升技術、工藝與產品水平,實現我國關鍵電子化學品材料的國產化,完善我國集成電路的產業鏈,滿足國家和重點產業的需求。
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光刻膠編碼 HS編碼: |
3707100001 [類注] | [章注] | [子目注釋] |
| 中文描述: | 不含銀的感光乳液劑 (CIQ碼:301:液體) |
| 英文描述: | Non--0--silver light-sensitive emulsion agent |
| 申報要素: | 0.品牌類型;1.出口享惠情況;2.用途;3.包裝;4.成分;四、對準(Alignment)光刻對準技術是曝光前一個重要步驟作為光刻的三大核心技術之一,一般要求對準精度為最細線寬尺寸的1/7---1/10。5.是否含銀;6.品牌;7.型號;8.是否有感光作用(以下要素僅上海海關要求)9.GTIN;10.CAS |
| 申報要素舉例: | / 1.感光劑;2.用途:感光材料,用于噴墨制版機;3.包裝:瓶裝;4.成分:重氮樹脂94%以上;5.無品牌;6.無型號 |
| 單位: | 千克 |
光刻膠
光刻膠由光引發劑、樹脂、溶劑等基礎組分組成,又被稱為光致抗蝕劑,這是一種對光非常敏感的化合物。此外,光刻膠中還會添加光增感劑、光致產酸劑等成分來達到提高光引發效率、優化線路圖形精密度的目的。不同曝光波長的光刻膠,其適用的光刻極限分辨率不同,通常來說,在使用工藝方法一致的情況下,波長越小,加工分辨率越佳。在受到紫外光曝光后,它在顯影液中的溶解度會發生變化。
分類
根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類。
正膠
曝光前對顯影液不可溶,而曝光后變成了可溶的,能得到與掩模板遮光區相同的圖形。
優點:分辨率高、對比度好。
缺點:粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
靈敏度:曝光區域光刻膠完全溶解時所需的能量
負膠egative





Photo Resist)
與正膠反之。
優點: 良好的粘附能力和抗刻蝕能力、感光速度快。
缺點: 顯影時發生變形和膨脹,導致其分辨率。
靈敏度:保留曝光區域光刻膠原始厚度的50%所需的能量。